洁净室单元和层流

洁净室单元设备室构造洁净室的关键组成部分，如FFU（风淋过机单元）就是组成各等级洁净室的核心设备；由FFU、MAC等组成的洁净室层流罩正是提高局部净化等级使用最广泛的设备，还有传递窗、洁净小车等各种单元设备选用。